凈化車間潔凈技術又稱為生產環境和污染控制技術,是近二、三十年來隨著凈化工程 技術發展起來的一門綜合性的新興科學技術。
十萬級凈化車間技術和設備的發展應用
潔凈技術專門研究并提供潔凈的生產工藝環境和生產過程中使用的各種高純介質,有效地控制微量雜質,以保證高科技產品的成品率和可靠性。潔凈技術通常包括:空氣凈化技術、空調技術、水純化技術、氣體純化技術、微量雜質控制技術、潔凈環境的監測技術及相關的環境質量的控制技術。凈化工程技術在電子、核子、航空航天、生物工程、制藥、精密機械、化工、食品、汽車制造等高科技工業領域及現代科學領域中得到廣泛應用。
對于半導體設備來講,凈化工程技術在微電子技術中起著十分重要的作用。微電子技術的核心是集成電路,而集成電路的生產對其工藝環境和工藝流程中的凈化技術和設備提出了嚴格的要求。我國 “九五”期間大力發展以微電子為重點的信息產業。凈化工程技術水平在某種意義上已成為衡量一個國家和地區科學技術水平和工業水平的一個重要標志。
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